据中国光谷消息，4月2日，君原电子与武汉东湖高新区正式签约，计划在光谷筑芯科技产业园建设半导体静电吸盘项目。该项目将为光谷集成电路企业提供静电吸盘的生产与维修服务。
君原电子成立于2020年，专注于半导体静电吸盘（ESC）的研发与量产，其产品覆盖14纳米及以上制程的主要刻蚀机台应用，并已通过国内12英寸晶圆厂验证。公司总经理王继增表示，项目落户光谷后，将进一步缩短与当地集成电路企业的距离，降低物流成本，提升产品应用效率。未来，君原电子将与产业链上下游企业协同合作，持续突破静电吸盘技术，力争成为全球领先的集成电路核心零部件供应商。
静电吸盘是晶圆生产设备的关键部件之一，利用静电吸附和搬运晶圆，类似芯片制造的“隐形手”。它被广泛应用于刻蚀机、光刻机和镀膜设备中，能够确保晶圆在加工过程中保持稳定。由于陶瓷材料与精密电极的制造难度较高，静电吸盘技术成为国内企业在推进芯片制造国产化过程中亟需攻克的重要领域。
此次签约项目位于未来科技城的光谷筑芯科技产业园，将建设专门的静电吸盘产线，助力光谷集成电路产业的发展。
图源：中国光谷，光谷筑芯科技产业园效果图