近日，据国方创新发布消息，华虹虹芯基金完成了对大束科技（北京）有限责任公司A轮的独家投资。大束科技成立于2018年，专注于半导体量检测设备及实验室电镜核心部件的研发，同时在电子束设备运维领域表现突出。
公司目前拥有5项发明专利，其在电子束设备的消耗性与易损性部件方面取得了显著成绩，已进入规模化量产阶段。大束科技的产品线覆盖电子枪、离子枪、探测器、光阑等关键部件，不仅满足存量电镜的维修保养需求，还广泛适配各类电子束设备，广受科研及半导体客户好评。
值得一提的是，大束科技自主研发的热场发射电子源和液态镓离子源，性能与使用寿命达到国际领先水平，且能完美兼容多种机型，成功实现关键部件的国产替代。本轮融资将用于加速研发创新和扩大产能，进一步提升国内集成电路产业链的安全性，降低对进口部件的依赖。