摘要据韩媒Theelec援引业界消息,三星电子正评估将低规格光罩(i-line、KrF级)外包生产的可能性。过去,为防止技术外泄,三星一直自行生产光罩。然而,由于设备老化及技术优势的变化,三星计划将部分低规格光罩交由外部厂商制造。目前
据韩媒Theelec援引业界消息,三星电子正评估将低规格光罩(i-line、KrF级)外包生产的可能性。过去,为防止技术外泄,三星一直自行生产光罩。然而,由于设备老化及技术优势的变化,三星计划将部分低规格光罩交由外部厂商制造。
目前,三星正在与两家公司进行洽谈,分别是日本Toppan Holdings子公司Tekscend Photomask和美国Photronics子公司PKL,预计评估工作将在2025年第3季完成。
光罩是半导体制造中不可或缺的核心组件,用于将电路图案转印至晶圆上。根据光源波长不同,光罩分为多种类型:i-line(365纳米)适用于简单电路,KrF(248纳米)用于中端制程,而ArF(193纳米)和极紫外光(EUV,13.5纳米)则应用于先进制程。
三星此次外包低规格光罩的决定,主要是因为相关生产设备已老化且难以采购新设备。此外,三星认为低规格光罩外包不会对技术外泄构成重大风险,同时可将内部资源集中于更高端的ArF和EUV光罩生产,以提升技术竞争力。
随着半导体制程日益微细化,光罩需求持续增长。例如,逻辑IC从10纳米缩小至1.75纳米时,所需光罩数量从67片增至78片;而DRAM光罩使用量也从30~40片增至60片以上。韩国光罩市场规模预计在2024年达到7,500亿至8,000亿韩元,产线稼动率已超90%,接近饱和。
分析指出,若三星最终落实光罩外包计划,可能打乱韩国8寸晶圆厂及IC设计业者的采购安排,导致光罩供应紧张的局面进一步加剧。
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